伯東企業(yè)(上海)有限公司作為德國(guó) Pfeiffer 真空設(shè)備, 美國(guó) inTEST 高低溫沖擊熱流儀, 美國(guó) KRi 離子源, 美國(guó) HVA 高真空閘閥, 等國(guó)際知名進(jìn)口真空品牌的指定代理商, 參展 SemiCon China 2023 上海半導(dǎo)體展!
上海伯東憑借多年真空經(jīng)驗(yàn), 在提供合適的產(chǎn)品同時(shí)更為您提供各類(lèi)真空工藝的解決方案, 協(xié)助您優(yōu)化工藝過(guò)程, 提高生產(chǎn)效率! 上海伯東期待您的蒞臨!
【參展時(shí)間】: 2023年6月29-7月1日
【地點(diǎn)】: 上海新國(guó)際博覽中心
【伯東展位】: E3號(hào)館, 3369 位置
在現(xiàn)場(chǎng), 我們?yōu)槟斀膺m用于半導(dǎo)體行業(yè)的各類(lèi)產(chǎn)品!
德國(guó) Pfeiffer 氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 390
專(zhuān)為半導(dǎo)體, 鍍膜行業(yè)研發(fā)
完全符合 Semi S2 標(biāo)準(zhǔn)
大抽速, 干式, 方便移動(dòng)
德國(guó) Pfeiffer 大抽速渦輪分子泵 HiPace 1200-2800 IT
高抽速, 高氣體吞吐量
對(duì)工藝沉積的抵抗力強(qiáng)
提供耐腐蝕型號(hào)
美國(guó) KRi 大口徑射頻離子源
3層?xùn)艠O設(shè)計(jì), 柵極口徑 38cm
提供離子動(dòng)能 100-1200eV 寬束離子束, 大離子束流 > 1000mA
滿(mǎn)足 300 mm (12英寸)晶圓刻蝕
適用于離子刻蝕, 濺射沉積
美國(guó) inTEST 高低溫沖擊熱流儀 ATS-710E
溫度范圍 °C: -75至+225 50Hz
防靜電設(shè)計(jì), 自動(dòng)除霜
支持 Ethernet, IEEE-488, RS232
美國(guó) Thermonics Process Chillers 超低溫冰水機(jī)
提供 -80°C 低溫冰水機(jī)和 -120°C 超低溫冰水機(jī)
用于冷卻工藝過(guò)程中的氣體和液體
適用于半導(dǎo)體前端和后端各類(lèi)工藝?yán)鋮s
美國(guó) HVA 超高真空閘閥 11000 系列
口徑: DN 16 - 800 mm
極限壓力: 高真空 1x10-9 mbar; 超高真空 1x10-10 mbar
6寸, 8寸 真空插板閥廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體氣體管路中!
美國(guó) Gel-Pak 芯片包裝盒
適用于儲(chǔ)存和運(yùn)輸半導(dǎo)體精密器件, 光電器件和其他精密器件等
若您需要進(jìn)一步的了解更多信息, 請(qǐng)聯(lián)絡(luò)上海伯東鄧女士,分機(jī)134
SemiCon China 2023 伯東展位【E3,3369】