潔凈室專用萬向球,是通過主球與小球的滾動配合,使負載在平面內做全方向的低摩擦移動,因其各零件均采用特種耐磨
耐腐蝕材料,極大地降低了萬向球在使用過程中的粉塵產生量,被廣泛適用于FPD制造設備、太陽能電池制造設備、食品設備、醫藥設備等。
無塵室專用萬向球的載重能力是因不同的使用工況而有所不同。因此,以面板制造廠家為基準,參照ISB的過往實績給予建議,初次使用無塵室專用萬向球時,請以0~1Kg荷載進行設計。
(1) 為防止刮傷玻璃基板,ISB采用Dupont的Vespel及PBI、PEEK等具有代表性的工程樹脂材料。
(2) 能夠抑制微粒粉塵產生,體現ISB獨特的潔凈技術。
(3) 根據使用環境要求,可提供多樣化的脫脂洗凈方法。
洗凈方法1:個別部件用有機溶劑洗凈。
洗凈方法2:所有部件用無水酒精超聲波洗凈。
(4) 玻璃基板定位時的摩擦系數僅為Pin支撐方式的1/10。
(5) 與滑動摩擦的Pin支撐相比,滾動摩擦的萬向球壽命更長。
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