等離子清洗機采用13.56MHz的射頻電源。作為一種精密干法清洗設(shè)備，主要應(yīng)用于半導(dǎo)體、鍍膜工藝、PCB制程、元器件封裝前、COG前、真空電子、連接器和繼電器等行業(yè)的精密清洗，塑料、橡膠、金屬和陶瓷等表面的活化以及生命科學實驗等。
?腔體采用不銹鋼材料,保證系統(tǒng)材料的穩(wěn)定性；
?采用15.56Mhz射頻電源,清洗更徹底；
?支持自動手動模式，方便客戶靈活操作；
?智能自動模式：可以設(shè)置為2次清洗，2次進氣,每次清洗時間,進氣穩(wěn)定時間都可以設(shè)定；
?手動模式：手動模式下，系統(tǒng)可以啟動定時功能，清洗時間到，系統(tǒng)自動停止工作；
?氣壓穩(wěn)定功能（選配）：根據(jù)需要可以配置輸出比例閥控制氣體的流速，均衡腔體內(nèi)壓力；
?智能氣路功能（選配）：根據(jù)需要，可以配置質(zhì)量
?流量計系統(tǒng)，可以設(shè)置不同的清洗段落配置不同氣體的流速；
?等離子體清洗不會在表面產(chǎn)生損傷層，表面質(zhì)量得到保證；不污染環(huán)境，保證清洗表面不被二次污染。
