等離子體是物質(zhì)的一種存在狀態(tài)，通常物質(zhì)以固態(tài)、液態(tài)、氣態(tài)三種狀態(tài)存在，但在一些特殊的情況下有第四種狀態(tài)存在，如地球大氣中電離層中的物質(zhì)。等離子體狀態(tài)中存在下列物質(zhì)：處于高速運動狀態(tài)的電子；處于激活狀態(tài)的中性原子、分子、原子團（自由基）；離子化的原子、分子；未反應的分子、原子等，但物質(zhì)在總體上仍保持電中性狀態(tài)。
腔體采用不銹鋼材料,保證系統(tǒng)材料的穩(wěn)定性；
采用15.56Mhz射頻電源,清洗更徹底；
支持自動手動模式，方便客戶靈活操作；
智能自動模式：可以設置為2次清洗，2次進氣,每次清洗時間,進氣穩(wěn)定時間都可以設定；
手動模式：手動模式下，系統(tǒng)可以啟動定時功能，清洗時間到，系統(tǒng)自動停止工作；
氣壓穩(wěn)定功能（選配）：根據(jù)需要可以配置輸出比例閥控制氣體的流速，均衡腔體內(nèi)壓力；
智能氣路功能（選配）：根據(jù)需要，可以配置質(zhì)量
流量計系統(tǒng)，可以設置不同的清洗段落配置不同氣體的流速；
等離子體清洗不會在表面產(chǎn)生損傷層，表面質(zhì)量得到保證；不污染環(huán)境，保證清洗表面不被二次污染。
