KRI 考夫曼離子源 KDC 100
上海伯東代理美國原裝進口 KRI 考夫曼離子源 KDC 100 中型規格柵極離子源, 廣泛加裝在薄膜沉積大批量生產設備中, 考夫曼離子源 KDC 100 采用雙陰極燈絲和自對準柵極, 標準配置下離子能量范圍 100 至 1200ev, 離子電流可以超過 400 mA.
KRI 考夫曼離子源 KDC 100 技術參數：
型號 | KDC 100 |
供電 | DC magnetic confinement |
- 陰極燈絲 | 2 |
- 陽極電壓 | 0-100V DC |
電子束 | OptiBeam™ |
- 柵極 | 專用, 自對準 |
-柵極直徑 | 12 cm |
中和器 | 燈絲 |
電源控制 | KSC 1212 |
配置 | - |
- 陰極中和器 | Filament, Sidewinder Filament 或LFN 2000 |
- 安裝 | 移動或快速法蘭 |
- 高度 | 9.25 |
- 直徑 | 7.6 |
- 離子束 | 聚焦 |
-加工材料 | 金屬 |
-工藝氣體 | 惰性 |
-安裝距離 | 8-36” |
- 自動控制 | 控制4種氣體 |
* 可選: 可調角度的支架
KRI 考夫曼離子源 KDC 100 應用領域：
濺鍍和蒸發鍍膜 PC
輔助鍍膜(光學鍍膜)IBAD
表面改性, 激活 SM
離子濺射沉積和多層結構 IBSD
離子蝕刻 IBE
T: +86-21-5046-1322 T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490 F: +886-3-567-0049
M: +86 152-0195-1076 M: +886-939-653-958
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